Преимущества и недостатки вакуумного напыления

Вакуумное напыление используется для формирования оптических интерференционных покрытий с использованием материалов с высоким и низким коэффициентом преломления, зеркальных покрытий, декоративных покрытий, пленок, препятствующих проникновению на гибкие упаковочные материалы, электропроводящих пленок и антикоррозионных покрытий.

Содержание статьи

• Вакуумное напыление
• Преимущества напыления
• Недостатки напыления

При напылении металлов вакуумное напыление иногда называют вакуумной металлизацией. Заказать услугу можно на https://www.etkos.ru/vakuumnoe-napylenie/. Ниже подробнее рассмотрим, что такое вакуумное напыление, его преимущества и недостатки.

Вакуумное напыление

Осаждение распылением может быть выполнено в вакууме или в газе низкого давления, где распыленные частицы не подвергаются газофазным столкновениям в пространстве между мишенью и подложкой. Это также можно сделать при более высоком давлении газа, когда энергичные частицы, которые распыляются или отражаются от распыляемой мишени, «термализуются» за счет столкновений в газовой фазе, прежде чем они достигнут подложки.

Преимущества напыления

• Элементы, сплавы и соединения можно распылять и осаждать.
• Мишень для распыления обеспечивает стабильный долгоживущий источник испарения.
• В некоторых конфигурациях источник распыления может иметь определенную форму, такую как линия или поверхность стержня или цилиндра.
• В некоторых конфигурациях реактивное осаждение может быть легко выполнено с использованием реактивных газообразных веществ, которые активируются в плазме.
• В процессе осаждения очень мало излучаемого тепла.
• Источник и подложка могут быть расположены близко друг к другу.
• Камера напыления может иметь небольшой объем.

Недостатки напыления

• Скорости распыления низкие по сравнению с теми, которые могут быть достигнуты при термическом испарении.
• Во многих конфигурациях распределение потока осаждения неоднородно, поэтому требуется подвижное крепление для получения пленок однородной толщины.
• Мишени для распыления часто бывают дорогими, а использование материалов может быть неудовлетворительным.
• Большая часть энергии, падающей на цель, превращается в тепло, которое необходимо отводить.
• В некоторых случаях газообразные загрязнители «активируются» в плазме, что делает загрязнение пленки более серьезной проблемой, чем при вакуумном испарении.
• При реактивном напылении состав газа необходимо тщательно контролировать, чтобы предотвратить отравление распыляемой мишени.

Осаждение распылением широко используется для нанесения тонкопленочной металлизации на полупроводниковый материал, покрытий на архитектурное стекло, отражающих покрытий на полимерах, магнитных пленок для носителей информации, прозрачных электропроводящих пленок на стекле и гибких полотнах, смазочных материалов с сухой пленкой, износостойких покрытий на инструмент и декоративные покрытия.